Магнетронско распршивање Процес таложења (Цр,Ти,Ал) Н градијентног премаза
Sep 12, 2024| Магнетронско распршивање процеса таложења (Цр,Ти,Ал) Н градијентне превлаке
Тренутно, типичан процес магнетронског распршивања за (Цр,Ти,Ал) Н градијентни премаз може се поделити на следеће кораке:
Чишћење јонским распршивањем: бомбардовање Ар јонима може уклонити нечистоће као што су оксиди на површини подлоге и такође активирати површину радног предмета.
Таложење металног слоја Цр: Започните Цр мету и депонујте доњи слој чистог метала Цр. Постоји добра сила везивања између металног слоја Цр и подлоге, а таложење Цр слоја може избећи директан контакт између Н елемента и Фе матрице, елиминисати уобичајене недостатке слоја само-светлећих слојева у премазу и побољшати крхкост премаза.
Цр-ЦрН Постепени прелазни слој: Убризгавањем Н2 и подешавањем протока Н2, релативни садржај Цр елемента у премазу постепено се смањује, а садржај Н елемента постепено расте, чиме се остварује прелаз Н компоненте између Цр базног слоја и ЦрН слоја, ефикасно избегавајући негативан утицај мутације компоненти на јачину везивања премаза, и чинећи прелаз између унутрашњег и спољашњег слоја премаза бољим. Истовремено, ЦрН слој такође може побољшати отпорност премаза на удар;
Седиментација ЦрН- (Цр,Ти,Ал) Н градијент међуслоја: Ти циљ и Ал циљ се постепено покрећу, а брзина протока Н2 се подешава како би се повећао садржај Н елемента у превлаци и садржај Ал и Ти елемент се такође постепено повећава, тако да се састав средњег слоја мења у градијенту. Пошто нема очигледног наглог интерфејса, проблем концентрације напона унутар премаза се може побољшати. Ово има добар ефекат на смањење унутрашњег напрезања премаза и побољшање силе везивања и механичке чврстоће премаза.
Разноврсно таложење (Цр,Ти,Ал) Н горњи слој: ЦрАлТиН горњи слој одржава параметре процеса непромењеним, таложење је уједначено, густо, а састав сваког елемента је стабилан, елиминишући дефекте узроковане сегрегацијом састава и испуњавањем захтеви за коришћење резних алата и других механичких делова.
Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за премазивање алата, машина за ДЛЦ премазивање, машина за оптичко премазивање, ПВД вакуумска линија за премазивање, доступан је пројекат „кључ у руке“. Контактирајте нас сада, Е-пошта: iks.pvd@foxmail.com