Утицај параметара процеса магнетронског распршивања: Циљна снага распршивања

Утицај параметара процеса магнетронског распршивања: циљна снага распршивања

Слично ефекту промене циљне струје, садржај елемента и структура (Цр,Ти,Ал) Н кватернарног премаза се такође може подесити променом снаге распршивања мете. Истраживања су показала да са повећањем снаге распршивања циља Цр, садржај Цр у превлаци има тенденцију повећања, а квалитет површине филма ће се такође побољшати [66]. Разлози за побољшање квалитета површине филма су следећи: с једне стране, са повећањем снаге распрскавања Цр мете, велики број распршених високоенергетских честица Цр судараће се са капљицама Ал склоне металним кластерима током лет, смањујући величину капљица и чинећи честице депоноване у подлогу финијим, чиме се побољшава квалитет површине премаза. С друге стране, са повећањем снаге распрскавања Цр мете, енергија распршених Цр честица се повећава, што резултира анти-спуттеринг ефектом на превлаку, што ће такође узроковати смањење честица на површини површине. премазивање. Експериментални резултати такође показују да се са повећањем садржаја Цр, зрна (Цр,Ти,Ал)Н превлаке рафинишу и микроструктура постаје густа, а корозивни медиј тешко продире у унутрашњост кроз шупљине, рупице и прорез на граници између стубастих или влакнастих зрна превлаке, тако да је отпорност на корозију (Цр,Ти,Ал) Н превлаке побољшана. Поред тога, истраживачи су открили да би се са повећањем садржаја Цр, отпорност на оксидацију (Цр,Ти,Ал) Н кватернарних премаза на високој температури такође побољшала. То је зато што што је већи садржај Цр у превлаци, садржај 2О3 фазе је већи у оксидном слоју (Цр,Ал), континуирани и густ ЦР-Ал оксидни слој не може само да ограничи дифузију атома титанијума на површину филма, али и ефикасно спречавају дифузију атома кисеоника у унутрашњост филма, како би се спречила даља оксидација унутрашњости премаза. Побољшана је отпорност на оксидацију (Цр,Ти,Ал) Н кватернарних премаза при високим температурама.

Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за облагање алата, машина за ДЛЦ премазивање, машина за оптичко премазивање, ПВД вакуумска линија за премазивање, доступан је пројекат „кључ у руке“. Контактирајте нас одмах, Е-пошта: iks.pvd@foxmail.com