Koji su tehnički i strukturni zahtjevi za stroj za vakuumsko premazivanje isparavanjem?
Jan 29, 2019| Koji su tehnički i strukturni zahtjevi za stroj za vakuumsko premazivanje isparavanjem?
IKS PVD tehnologija, kontaktirajte nas sada, iks.pvd@foxmail.com
I. zahtjevi strukture
1, struktura opreme treba biti razumna raspored, lijep oblik, jednostavan za rukovanje, jednostavan za održavanje.
2. Struktura i veličina statičkih i dinamičkih brtvi u opremi moraju biti u skladu s odredbama GB / T 6070 i JB / T 1090 ~ 1092.
3. Na cjevovodima niskog i visokog vakuuma i komori za premazivanje mora biti ugrađen vakuumski mjerač za mjerenje tlaka svakog dijela zasebno.
4. Ako u vakuumskoj jedinici opreme dominira pumpa za difuziju, na ulazu difuzne pumpe mora se postaviti pregrada ili hladna bušotina.
5, prostor za premazivanje treba da ima prozor za posmatranje, za proces premazivanja radijacione opreme, prozor za posmatranje treba da bude opremljen sa anti-ray lećama.
6, s uređajem za pečenje izratka, mora postojati elektroda za mjerenje temperature ili uređaj za mjerenje temperature.
7, brzina rotacije mehanizma rotacije okvira obratka treba da zadovolji zahtjeve dizajna proizvoda.
8. Oprema opremljena jonskim bombarderskim uređajem ili uređajem za izvor jonske energije širokog snopa mora biti u stanju raditi normalno i stabilno više od 30 minuta unutar parametara navedenih u zahtjevima za projektiranje proizvoda.
9. Grijač sa žicom od volframa kao izvor topline isparavanja treba da bude u stanju da ispari materijal isparavanja normalan, au procesu isparavanja geometrija grejača ne bi trebalo da utiče na normalno isparavanje.
10. Izvor isparavanja opreme treba da bude stabilan i lak za podešavanje i upravljanje. Tehnički zahtjevi za različite izvore isparavanja (kao što su izvori isparavanja otpora, izvori isparavanja elektronskim snopom, izvori isparavanja ionskog snopa, izvori laserskog isparavanja, izvori induktivnog isparavanja, itd.) Moraju biti specificirani u skladu sa relevantnim standardima proizvoda.
11. Kada oprema prihvati izvor napona isparavanja niskog napona i visoke struje, svaki grijač izvora isparavanja mora normalno raditi pod naponom od 4V ~ 20V i strujom 50A ~ 180A.
Ii. Proizvodni zahtjevi
1. Kvalitet obrade, kvalitet zavarivanja i kvalitet montaže dijelova i komponenti opreme moraju biti u skladu s odredbama tehničke dokumentacije proizvođača.
2. Hrapavost Ra vrijednost unutrašnje površine premaza opreme i površine za brtvljenje ne smije biti veća od 1.6um, a sve površine u stanju vakuuma moraju biti učinkovito očišćene i osušene vakuumom. Svi rotirajući delovi, mehanizam za podizanje i druge radnje treba da budu fleksibilni, ne zaglavljeni, stagnacija, labavost, trešenje i nenormalan zvučni fenomen, itd.
3. Materijali glavnih dijelova i komponenti opreme moraju biti u skladu sa relevantnim materijalnim standardima.
4. Kvalitet pratećih električnih uređaja mora biti u skladu sa tehničkom dokumentacijom proizvođača i osigurati sigurnost i pouzdanost opreme u radu i radu.
5. Kvalitet opreme mora biti slobodan od nefunkcionalnih zahtjeva kao što su oštri uglovi, ivice, izbočine i grube površine. Rub spoja mora biti uredan, pa čak i bez očigledne dislociranosti. premaz, ne pada i hrđa i drugih pojava, svi jaki dijelovi bi trebali biti sloj hrđe. Površina premaza opreme treba biti svijetla i čista, lijepa, čvrsta, bez prolijevanja, ljuštenja i drugih pojava.
6. Pomoćni proizvodi kupljeni od opreme moraju biti u skladu sa odgovarajućim standardima proizvoda i moraju imati certifikate o kvalitetu. Pomoćni proizvodi koji se sami izrađuju u opremi mogu se koristiti samo nakon prolaska inspekcije od strane inspekcijskog odjela proizvođača.
7. Različiti izvori isparavanja, pomoćni izvori iona i bombardovanje iona, rotacija obratka, pečenje izratka, prednapon, obrada debljine filma i drugi uređaji u opremi. zagrijana na nominalnu temperaturu, vakuumska vanjska temperatura površine ne smije biti viša od 45 stupnjeva, a pokretni dio opreme mora raditi normalno.