Uzrok neravnomernog filma pomoću mašine za nanošenje vakuumskog magnetronskog raspršivanja

Uzrok neravnomernog filma pomoću mašine za nanošenje vakuumskog magnetronskog raspršivanja

Koji su faktori koji dovode do neujednačenog magnetronskog raspršivača vakuumskog premaza? Prijatelj koji se većinom bavi poslom ovog poštovanja zapravo je još uvijek komparativno razumijevanje, u osnovi se može podijeliti na nekoliko čimbenika: stanje vakuuma, magnetno polje, argon.

Radom magnetronske mašine za raspršivanje vakuuma je da ioni argona nastali bombardovanjem argonom bombardiraju ortogonalnim magnetnim poljem u stanju vakuuma, a ciljni ioni se talože na površinu obradka da bi se formirao film.

U stanju vakuuma, sistem za pumpanje je potreban za kontrolu. Svaki port za pumpanje treba pokrenuti istovremeno i sa istom snagom, tako da se jednolikost pumpanja može dobro kontrolisati. Ako pumpanje nije ujednačeno, pritisak u vakuumskoj komori ne može biti jednak, a pritisak ima određeni uticaj na kretanje iona. Osim toga, vrijeme pumpanja treba kontrolirati, prekratko će uzrokovati nedostatak vakuuma, ali predugo i gubljenje resursa, ali postoji vakuumski mjerač, to nije problem za kontrolu.

Ortogonalno polje radi, ali morate napraviti sto posto homogenog magnetnog polja intenziteta je nemoguće, općenito jak magnetno polje, debljina filma je velika, suprotno je malo, tako da će uzrokovati debljinu filma nije dosljedna, ali u procesu proizvodnje , zbog magnetskog polja uzrokovanog neravnom neravnom filmom, nije uobičajeno, zašto?

Prvobitna jakost magnetnog polja nije dobra, ali u isto vrijeme radni komad je u funkciji u isto vrijeme, te je ciljni atomski sedimentni kraj kućišta za mnogo puta proces premazivanja, dijelovi za određeni vremenski period, iako debeli i tanki dijelovi, ali drugi put, pod djelovanjem jakog magnetnog polja na tanke dijelove izvorne sedimentne debljine, na debljinu dijela tanke, toliko puta, nakon konačnog filma, uniformnost filma je dobra.

Ujednačenost argona će takođe uticati na uniformnost filma, čiji je princip gotovo isti kao i stepen vakuuma. Zbog ulaska argona, pritisak u vakuumskoj komori će se promijeniti, a ujednačenost pritiska može se kontrolirati u jednoličnost debljine filma magnetronskog stroja za nanošenje vakuumskog premaza.