Регулатор масеног протока са ниским притиском ΠМФЦ - ПФЦ-20
Контролер масеног протока ПФЦ-20, ниског притиска πМФЦ обезбеђује максималну искоришћеност гасова за безбедну испоруку. Спровођење ниског притиска πМФЦ повећава време рада алата тако што смањује учесталост промена извора гасног цилиндра. Нуди прецизну и прецизну контролу ниске количине гаса ...
- Представљање производа
УВОД
Контролер масеног протока ПФЦ-20, ниског притиска πМФЦ обезбеђује максималну искоришћеност гасова за безбедну испоруку. Спровођење ниског притиска πМФЦ повећава време рада алата тако што смањује учесталост промена извора гасног цилиндра. Омогућава прецизну и прецизну контролу малих протицаја гаса у широком опсегу притиска са извором притиска испоруке гаса до 4 Торр.
Овај πМФЦ је најновији производ МКС дизајниран посебно за СДС и ВАЦ ® изворне гасове који служе индустрији јонске имплантације. Патентирани дизајн вентила и сензора пружају изузетну нулту стабилност и тачност за све услове протока уз одржавање способности да брзо постигну постављену тачку и поновљиво контролишу проток гаса. Стандардни МФЦ отисак и контролни И / О су компатибилни са постојећим линијама за једноставну интеграцију и рад.
КАРАКТЕРИСТИКЕ И ПРЕДНОСТИ
◆ Максимизира измене које смањују кориштење СДС извора гаса, што доводи до већег трајања алата и смањења трошкова власништва
◆ Непрекидно контролише низак проток гасова који омогућава смањену потрошњу гаса помоћу параметара оптимизованих за апликације имплантатора
◆ Дигитална контролна петља омогућава брзу реакцију на временски период циклуса процеса минимизирања задате тачке
◆ Повећава време одржавања алата кроз смањење "Нема проблема пронађен": МФЦ замене
- Укључена уграђена дијагностика и софтвер који корисницима омогућавају да проверавају МФЦ функционалност без уклањања МФЦ-а
-Е-дијагностика кроз уграђени Етхернет интерфејс омогућава надзор параметара перформанси током рада
◆ Директна замена замене за најчешће МФЦ-ове
◆ Смањује трошкове залиха кроз мулти-гас, мулти-ранге могућности
◆ Страствена конфигурација и дијагностика преко Етхернет интерфејса
- Користи стандардни веб прегледач - није потребан посебан софтвер
- Укључује даљински ПЦ апликацију
◆ Светао ротирајући ЛЕД дисплеј омогућава лако прегледавање брзине протока, врсте гаса, распона протока пуне величине, температуре и Етхернет адресе
ДИМЕНЗИОНАЛНА РИСАЊЕ И ПИНУТС
СПЕЦИФИКАЦИЈА
| Перформансе | ||
| Пуни опсег (Н 2 еквивалент) | 2- 20 сццм | |
| Улазни притисак | 4 - 1200 Торр (са вакуумом на излазу) | |
| Нормални радни притисак диференцијал (Н 2 еквивалент) | <10 торр="" при="" фс="" протоку="" (са="" вакуумом="" на=""> | |
| Максимални притисак прања | 150 псиг | |
| Бурст Прессуре | 1500 псиг | |
| Контролни опсег | 2 до 100% ФС | |
| Типична тачност | ± 1% подешене тачке за> 10 до 100% ФС и ± 0,2% ФС за 2 до 10% ФС на улазним притисцима> 20 Торр | |
| Поновљивост | 0,2% ФС | |
| Резолуција | 0,1% читања | |
Температура Коефицијенти | Нула | ± 0,08% ФС / ° Ц |
| Спан | ± 0,08% Рдг / ° Ц | |
Време подешавања регулатора (по Семи смерници Е17-0600) | <2> типично изнад 10% ФС на улазним притисцима> 10 Торр | |
Време за загревање (до 0,2% ФС перформансе стабилног стања ) | <30> | |
| Нормална радна температура | 10 до 50 ° Ц | |
| Влажност складиштења | 0 до 95% Релативна влажност, без кондензације | |
| Температура складиштења | -20 до 65 ° Ц | |
| Приказ температуре | 0 до 100 ° Ц | |
| Јединице за очитавање температуре | ° Ц | |
| Тачност температуре | ± 2 ° Ц | |
| Резолуција температуре | 0.1 ° Ц | |
| Механички | ||
| Фитинги | Свагелок ® 4 ВЦР ® | |
| Приказ | 4 цифре за вредност, 4 карактера за јединицу | |
| Интегритет цурења | Вањски (сцц / сец Хе) | <1к10> |
| Кроз затворени вентил | <1,0% фс="" на="" 25="" псиг="" у=""> | |
Влажени материјали Стандард | 316 СС ВАР (еквивалентан 316 СС СЦК за квалитет полупроводника), 316 СС, Елгилои, КМ-45, НиТи | |
| Површински завршетак | 5 микроинжинског просека Ра | |
| Тежина | Мање од 2 лбс. (0,9 кг) | |
| Електротехника | ||
| Конектори | Аналогни (напајање и И / О) | 9 пин Д мушки или 15 пин Д мушки |
| Дијагностика | мрежни | |
| Улазни напон | 15-24 ВДЦ ± 5% ВДЦ @ 350мА врх, 250 мА стабилно стање | |
| Сет Поинт Цомманд Сигнал | 0 до 5 ВДЦ | |
| Излазни сигнал | 0 до 5 ВДЦ | |
Popularne oznake: контролер масеног протока ниског притиска πмфц - пфц-20, Кина, произвођачи, добављачи, купују, прилагођени, направљени у Кини
