Избор типа вакум јединице
Jun 30, 2018| 1. Састав и класификација вакуумских јединица
Вакуумска јединица обично се састоји од следећих компоненти: разних вакуумских пумпи, вакуумских мерних уређаја, вакуумских вентила, вакумских цеви и неких других компоненти као што су дуваљке, вакуумски спојеви, резервоари за складиштење гаса, мехови, колектори за прашину и вакуумски релеји.
Према радном притиску јединице постоје грубе вакуумске јединице (> 1330Па), ниске вакуумске јединице (1330 ~ 0.13Па), велике вакуумске јединице (0.13 ~ 1.3к10-6Па), ултра високи вакуумски уређаји (1.3к10-6 ) ~ 1,3 × 10-11 Па) и врло високу вакуумску јединицу (<1,2 ×="" 10-11="">
2. Низак вакуум јединица
Главне карактеристике ниске вакуумске јединице су високи радни притисак и велики помицаји, али је брзина пумпања нижа од оне у високој вакуумској јединици. Углавном се користи за грубу пумпање вакумске коморе и неких вакуумских јединица којима је потребан високи радни притисак, као што су вакуумски испусни уређаји, јединице за вакуумску импрегнацију, вакуумске филтарске јединице, јединице за вакуумску дегазацију, вакуумске сушаре итд. Главне пумпе ниске вакуумске јединице су обично повратне вакуумске пумпе, вакуумске пумпе за уље заптивке, водене млазне пумпе, млазне водене паре, пумпе за водени прстен, млазне млазне пумпе молекула, адсорпционе пумпе молекуларног сита и Роотс пумпе. Када се користи ниско-вакум јединица, неопходно је конфигурирати компоненте као што су колектор прашине и сув филтер према захтевима процеса степена чистоће и влажности гаса који се пумпа.
3. Висока јединица за вакуум
3.1 Изаберите главну пумпу. Главна пумпа може бити дифузиона пумпа, молекуларна пумпа, пумпна чаура за спуттер, титанова пумпа, криогена пумпа и тако даље.
3.2 Изаберите пумпу за подмазивање и цев за одлагање гаса (отпоран на ударце, скратити радни циклус, спречити већу количину вентилације у вакуумској комори и стабилизовати излазни притисак дифузионе пумпе)
4. Ултра-висока јединица за вакуум
Коначни вакуум главне пумпе је висок, проценат цурења је низак и отпоран је на печење на 200-450 ° Ц.
4.1 Диффусион пумп унит: смањује повратни проток и контролу загађења.
4.2 Молекулска пумпа: однос компресије на водик је мали, а преостали гас је углавном водоник.
4.3. Пумпа за спуттер ион: Обично се користи у комбинацији са титанијум пумпом.
4.4 Криогена пумпа: без загађења.