Брзина пумпања активног гаса помоћу јонске пумпе
Sep 13, 2023| Брзина пумпања активног гаса помоћу јонске пумпе
Неки гасови су хемијски активнији, као што су водоник, кисеоник, азот, угљен-моноксид, угљен-диоксид итд., И лако могу да формирају стабилна једињења са већином метала. У јонској пумпи, ови активни молекули гаса реагују са свежим титанијумом (или танталом) распршеним јонским бомбардовањем катоде и формирају чврста једињења као што су титанијум нитрид и титанијум оксид, која се „испумпавају“ (у ствари, троше их реакција). Поред реакције са свежим катодним материјалом који се распршује, активни гас ће такође бити убризган и дифундован у материјал катоде и остати тамо, чиме се постиже ефекат „испумпавања“; Међутим, поред водоника, већина активног гаса се не убризгава у материјал катоде веома дубоко, ови делови гаса који се убризгавају у катоду након достизања одређене количине, биће ослобођени под накнадним јонским бомбардовањем, које се назива ефекат засићења (погледајте чланак: брзина пумпања засићења јонске пумпе, незасићена брзина пумпања и номинална брзина пумпања). При ниском притиску, Диодна пумпа са истом номиналном брзином пумпања има највећу брзину пумпања активних гасова, затим Нобле Диоде, а на вишим притисцима (изнад 5Е-6 мбар), СтарЦелл јонска пумпа има највећу пумпу брзина.
Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за облагање алата, машина за ДЛЦ премазивање, машина за оптичко премазивање, ПВД вакуумска линија за премазивање, доступан је пројекат „кључ у руке“. Контактирајте нас сада, Е-пошта: iks.pvd@foxmail.com