Главни параметри који утичу на спутање
Jun 09, 2018| 1. Праг прскања
Минимална енергетска вриједност инцидентних јона потребних за спуштање атома мета није везана за тип инцидентних јона, али везана за мету. Након што количина енергије премаши праг спрчавања, принос спуттера је пропорционалан квадрату енергије јона пре 150 ев када се енергија јона повећава, а принос спуттера је пропорционалан енергији јона у распону од 150 ев до 1 кев. У опсегу од 1кев ~ 10кев, прскање се благо мења. Када је енергија поново повећана, принос спуттера је показао тренд опадања. Слиједи прага распршивања неколико метала бомбардованих различитим инцидентним јонима.
| Метал | Ион Спуттеринг тхресход / еВ | Сублимација топлота / еВ | |||
| Не | Ар | Кр | Ксе | ||
| Ти | 22 | 20 | 17 | 18 | 4.40 |
| Цр | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Фе | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Цу | 17 | 17 | 16 | 15 | 3.53 |
| Зр | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| Аг | 12 | 15 | 15 | 17 | 3.35 |
| Ау | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. Спуттеринг Ииелд
Спуттеринг принос се односи на просечан број атома по позитивном јону који се може емитовати из мете када инцидентни иони бомбардују мету. Фактори утјецаја углавном укључују следеће аспекте:
◆ Принос спутања показује одређену периодичност са променом атомског броја мета. Са повећањем степена електронског пуњења д-шкољке циљног атома, повећава се принос спуттера (отприлике тренд промјене).
◆ Утицај врста инцидентних јона на принос спутања
Период прскања повећава се периодично с повећањем атомског броја инцидената.
Прљави принос сребра, бакра и тантала који одговара различитим инцидентним јонима од 45Кев.
◆ Утицај угла упадања јона на принос спутања
За исте циљане и инцидентне јоне, принос прскања се повећава с повећањем удесног удара јона. Када се угао повећава на 70 ° ~ 80 °, прскање је највеће. Наставити да повећава угао инциденције, принос спуттера је оштро смањен, а принос спутања је 0 на 900 °.
◆ Утицај циљне температуре на принос спуттера
Генерално, у температурном опсегу где принос спуттера може се сматрати блиско везаним за сублимациону енергију, прскање приноса тешко се мења са температуром. Ако температура превазилази овај опсег, принос прскања има тенденцију да се брзо повећава.
