Карактеристике производа Магнетрон премаза за распршивање

Feb 23, 2021|

Карактеристике производа премаза за распршивање магнетроном
1. Прстенасто магнетно поље које користи магнетронско распршивање присиљава секундарне електроне да се врте дуж прстенастог магнетног поља скакањем. Сходно томе, регион који контролише прстенасто магнетно поље је регион са највећом густином плазме. Током распршивања магнетрона, може се видети да гас који прска, аргон, у овом положају даје јак светло плави сјај, формирајући прстен. Циљ испод ореола највише бомбардирају јони, прскајући жлеб у облику прстена. Магнетно поље прстена је орбита у којој се крећу електрони, симболизована сјајем прстена и жлебовима. Једном када жлеб за распршивање магнетског мета за прскање продре у циљни материјал, то ће довести до отпада целог циљног материјала, па стопа искоришћења циљног материјала није велика, углавном мања од 40%;

2. Нестабилност плазме;

3, не може се реализовати прскање јаких магнетних материјала при ниским температурама и великим брзинама, јер готово сав магнетни флукс не може проћи магнетну мету, па се не може додати спољно ојачавајуће магнетно поље у близини циљне површине.

Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно наношење премаза, машина за наношење алата, машина за оптичко наношење премаза, линија за вакуумско наношење ПВД. Контактирајте нас одмах, е-пошта: iks.pvd@foxmail.com


Pošalji upit