Metoda za nanošenje nanosa legiranih filmova

Metoda za nanošenje nanosa legiranih filmova

Da bi se smanjio broj ciljeva koji se koriste u sistemu za prskanje, tanke folije od legura koje zadovoljavaju zahtjeve sastava i performansi mogu se pripremiti nanošenjem taloga sa jednom metom koliko god je to moguće, kao što su ciljevi legure, kompozitni mozaični ciljevi i multi - ciljno prskanje.

Uopšteno govoreći, u stabilnom stanju pražnjenja, prema sastavu mete, sve vrste atoma konstituenata podvrgavaju se efektu prskanja, premazivanje raspršivanjem je superiornije u odnosu na vakuumsko isparavanje i ionsko plating u tome: sastav filma i ciljne komponente su manje različite, a komponente prevlake su stabilne. Međutim, u nekim slučajevima, zbog izbora fenomena prskanja različitih komponenti, brzina anti-prskanja filma i adhezija su različiti, što će uzrokovati da film i ciljne komponente imaju velike razlike.Koristeći ovaj cilj legure, kako bi se film sa određenim komponentama, pored pripreme mete sa specifičnim omjerom u skladu s eksperimentom i smanjenjem temperature cilja koliko je moguće, temperatura podloge također može smanjiti da se smanji razlika u stepenu adhezije, i da se mogu izabrati odgovarajući procesni uslovi da se smanji efekat protiv prskanja na film koliko god je to moguće.

U nekim slučajevima nije lako pripremiti velike površine jedinstvenih ciljeva legura i složenih ciljeva. U ovom slučaju, mogu se usvojiti kompozitni mozaički ciljevi sastavljeni od pojedinačnih elemenata. Sastav ciljne površine prikazan je na slici 1. Struktura mozaika u obliku ventilatora prikazana na slici 3. D ima najbolji efekat, i lako je kontrolisati sastav filma i ima dobru ponovljivost. U principu, ne samo binarne legure, već i ternarne i kvartarne legure mogu se pripremiti ovom metodom.

Slika 1 kompozitni ciljevi sa različitim strukturama

(a) blok Mosaic target; (b) okrugli mozaički cilj; (c) mali kvadrat mozaika; (d) mozaička meta u obliku fanova

Da bi se odgovarajuća distribucija komponenti u filmu za prskanje koristila mozaična meta kao što je prikazano na slici 2. Na slici, kompozitna meta Al materijala je izbušena u ugraviranoj površini cilja Ti matriksa da bi se pripremio film od legure Ti Al N ili složeni film. Iz slike se može vidjeti da je kompozicija filma različita na različitim položajima podloge. Položaj i količina Al materijala odgovaraju utvrđenom sastavu legure, tako da je ovim postupkom veoma pogodno praviti legure ili spojene folije različitih komponenti.

Slika 2 Ti-Al Mosaic kompozitni cilj

Struktura višeslojnog prskanja prikazana je na slici 3. Složeni filmovi mogu se pripremiti rotiranjem supstrata iznad dva ili više ciljeva i kontrolom debljine nanosa svakog filma da bude jedan ili više atomskih slojeva. Na primer, InSb i GaSb ciljevi su korišćeni za proizvodnju in1-xgax Sb monokristalnih filmova. Iako je ovaj uređaj komplikovaniji, membrana bilo koje komponente se može dobiti kontroliranjem brzine rotacije podloge i promjenom napona koji se primjenjuje na svakoj meti. Kontroliranjem ovih parametara, sastav filma se može mijenjati u smjeru debljine filma, a može se dobiti i struktura super-rešetke.

Fig. 3 shematski dijagram multi-target sputtering strukture

Kada se sastav filma od legure značajno razlikuje, obično se koristi pomoćna katodna metoda. Glavna meta katode napravljena je od glavne komponente legure, a pomoćna katodna meta je izrađena od dodatne komponente legure. Prskanje je vršeno na svakoj meti istovremeno da se formira film od legure. Podešavanjem struje pomoćne mete katode, količina dodanih komponenti u filmu od legure može se po želji promeniti .

IKS PVD, sistem za premazivanje raspršivanjem, kontaktirajte nas sada, iks.pvd @ foxmail.com