Утицај параметара процеса магнетронског распршивања -Н2 брзина протока

Утицај параметара процеса магнетронског распршивања -брзина протока Н2

Хемијски састав, микроструктура и различита својства (Цр,Ти,Ал) Н кватернарног премаза могу се подесити променом протока Н2. Истраживачи су открили да ће се са повећањем протока Н2, садржај Н и садржај тврде фазе нитрида у (Цр,Ти,Ал) Н превлаци такође повећати, а тврдоћа, модул еластичности, капацитет ношења и сила везивања на бази филма. премаз ће се такође повећати у складу са тим, што може ефикасно смањити храпавост површине, фактор трења и стопу хабања премаза. Значајно побољшати отпорност на хабање премаза [57-58]. Међутим, са даљим повећањем протока Н2, притисак прскања расте, просечна слободна путања јона се смањује, а енергетски губитак јона се повећава, што ће утицати на квалитет кристализације и структуру формирања филма превлаке, што ће резултирати смањењем тврдоћа премаза [59]. Истраживачи су такође открили да са повећањем протока Н2, стопа таложења (Цр,Ти,Ал) Н кватернарних превлака показује тренд прво повећања, а затим опадања [60]. То је зато што ће повећање брзине протока Н2 повећати степен реакције циљних честица са Н2, а самим тим и брзину таложења премаза. Међутим, повећање брзине протока Н2 ће такође повећати притисак распршивања, а ефекат распршивања зрака честица (укључујући честице распршивања које бомбардују мету и депоноване честице на површини која формира филм) ће се повећати, што ће резултирати смањењем броја депоноване честице које достижу површину супстрата у јединици времена, тако да ће и стопа таложења премаза такође показати опадајући тренд. Поред тога, превисок парцијални притисак Н2 ће довести до стварања више нитридних фаза на површини мете, што ће повећати степен тровања мете, што ће утицати и на брзину таложења премаза.

Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за премазивање алата, машина за ДЛЦ премазивање, машина за оптичко премазивање, ПВД вакуумска линија за премазивање, доступан је пројекат „кључ у руке“. Контактирајте нас сада, Е-пошта: iks.pvd@foxmail.com