Уобичајено снимање магнетног спуттеринг филма
May 12, 2018| Филм је сив и таман
1. Степен вакуума је мањи од 0,67 Па. Степен вакуума треба повећати на 0,13-0,4 Па.
2. Чистост аргона је мања од 99,9%. Плаесе користи аргон чистоће 99,99%.
3. Гумени систем напушта. Систем инфлације треба проверити како би се елиминисало цурење.
4. Пример није потпуно очвршћен. Време очвршћавања прајмера треба проширити на одговарајући начин.
5. Количина гаса која се ослобађа од обложеног дела је превелика. Комора треба осушити и запечаћити
Дим и досадна површина
1. Време проливања је предугачно. Време треба скратити на одговарајући начин.
2. Брзина формирања и формирања филма је сувише брза. Молимо правилно да смањите струју и напон спутања.
Неуједначена боја премаза
1. Филм је сувише танак. Молимо да повећате брзину прскања или време прскања.
2. Ирационални дизајн намештаја. Дизајн намештаја треба побољшати.
3. Геометрија подлоге је сувише компликована. Молимо вас да на одговарајући начин повећате брзину ротације подлоге.
Филм има боре или пукотине
1. Стопа испаравања је превише брза. Требало би да буде правилно успорен.
2. Филм је превише дебео. Вријеме прскања треба да буде скраћено на одговарајући начин.
3. Температура подлоге је превисока. Скратите време загревања подлоге.
Површина површине филма има ознаке воде, отиске прстију и честице чађи
1. Подлога није довољно осушена након чишћења. Пречишћавање треба очувати.
2. Површине подлоге се прскају водом или пљувачом. Оператори треба да носе маске.
Слаба адхезија
1. Слабо одмашћивање делова за плочице. Пречишћавање треба очувати.
2. Вакуумска комора није чиста. Вакум комору треба очистити. Имајте на уму да је током процеса учитавања и истовара циљева стриктно забрањено коришћење руку или другог нечистог објекта додирнути магнетрон извор.
3. Причвршћивање није чисто. Причвршћивање треба очистити.
4. Неправилна контрола услова процеса пржења. Молим вас побољшајте услове процеса пржења.