Техника неравнотежног магнетног распршивања затвореног поља
Aug 29, 2024| Техника неравнотежног магнетронског распршивања у затвореном пољу
Технологија неравнотежног магнетронског распршивања заснована је на конвенционалној мети за распршивање, која мења дистрибуцију магнетног поља на површини мете за распршивање променом конфигурације магнета. Међу њима, најчешћи облик је да је јачина периферног магнетног поља већа од јачине централног магнетног поља, линија магнетног поља не формира затворену петљу између периферије и центра, а неке од периферних линија магнетног поља могу да се протежу. од површине мете до близу матрице. У таквој расподели магнетног поља, плазма више није ограничена на површину мете, већ се може проширити на површину супстрата, што повећава густину снопа јона на површини супстрата. Коришћење снопа јона са већом густином али нижом енергијом за помоћ таложењу може не само да побољша квалитет премаза, већ и да избегне велико унутрашње напрезање. За неравнотежну технологију магнетронског распршивања са више мета са супротним суседним магнетним половима, линије магнетног поља на ивицама суседних две мете могу да формирају „затворену замку“ за бежање електрона, која ефикасно везује електроне како би избегла губитак електрона адсорбује се на зид вакуумске коморе услед слабљења магнетног поља, чиме се значајно побољшава ефикасност прскања мете. У овој техници неравнотежног магнетронског распршивања затвореног поља, област плазме је ефективно ограничена на средњи део вакуумске коморе, тако да матрица може да добије идеално бомбардовање јонима. Неравнотежни систем магнетронског распршивања са четири циља са затвореним пољем је веома ефикасан за наношење униформних, густих и сложених филмова на сложене подлоге и може произвести превлаке високе густине, високе чврстоће и велике силе везивања, које се широко користе у припреми (Цр,Ти,Ал) Н превлаке.
Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за премазивање алата, машина за ДЛЦ премазивање, машина за оптичко премазивање, ПВД вакуумска линија за премазивање, доступан је пројекат „кључ у руке“. Контактирајте нас сада, Е-пошта: iks.pvd@foxmail.com