Kondenzacijska pumpa aspirira se da kondenzira plin na površini niske temperature u svrhu pumpanja

1) Kondenzacijska pumpa aspirira da kondenzira plin na površini niske temperature u svrhu pumpanja. Kada u vakuumskoj komori postoji hladna površina, na njoj će se pojaviti kondenzacija, koja može igrati ulogu usisavanja zraka. To je princip rada kriogene pumpe za kondenzaciju i kriogene hladne zamke. Tlak zasićene pare usko je povezan s temperaturom, a kad temperatura padne, tlak zasićene pare opada.

Tabela 1 prikazuje standardni sastav atmosfere. Na slici 1 prikazana je krivulja temperaturne relacije tlaka zasićenih para u različitim plinovima. Kao što se može vidjeti na slici 1, kada temperatura padne na 20K, osim neona, vodika, helija i ostalih teško kondenzirajućih plinova, tlak zasićene pare svih ostalih komponenti u zraku je niži od 10-10 torr. Stoga, kada se hermetički zatvoreni spremnik napuni zrakom do 20K, vakuum može doseći 1,2E-3 torr. Na 4,2 k preostaje samo helijum, a vakuum do 5e-5torr. Hladna površina kondenzacijske pumpe općenito se može odabrati oko 14-20k, a metoda ispiranja lakim kondenzacijskim plinom ili usisavanje drugim crpkama usvojena je da u velikoj mjeri smanji količinu vodika, helija i drugog teškog kondenzacijskog plina u pumpama sistem. Mala količina teško kondenzacijskog plina koja curi u sistem tokom rada može se ukloniti i drugim pumpama.

[tabela 1] standardni atmosferski sastav

[Sl. 1] temperaturni odnos tlaka zasićene pare raznih plinova

IKS PVD, mi smo proizvođač strojeva za vakuumsko premazivanje iz Kine, više detalja, kontakt: iks.pvd@foxmail.com