Механизам наношења превлака

Тренутно се сматра да је феномен спутања директан резултат еластичног судара, а спуттеринг је у потпуности процес размене кинетичке енергије. Када позитивни иони бомбардирају катодну мету и инцидентни јон на почетку удара атоме на површини мета, долази до еластичног судара. Она директно преноси своју кинетичку енергију на атом или молекул на површини мета, а овај површински атом добија кинетичку енергију, а затим преноси енергију на унутрашње атоме мета. Након серије каскадних судара, када један од атома или молекула добије импулс који показује изван циљне површине и има енергију да савлада површинску баријеру (енергију везивања), може се одвојити од других атома или молекула у близини и побјећи од циља површина да постане атоми распршивања.

Фиг. 1. Схематски дијаграм Каскадни судар у процесу распршивања чврстог стања

Може се видјети да је процес распршивања процес којим се енергија размењује од инцидентних јона кроз низ судара. Енергија коју су инцидентни иони пренели на спутане атоме је само око 1% изворне енергије. Већина енергије се конзумира у површинском слоју циља каскадним сударањем, а затим претвара у вибрације кристалне решетке. Већина спуттерованих атома долази из површног слоја и може се сматрати да атоми почињу да се отклоне са површине када се мета попрска. Ако је енергија јона бомбардовања недовољна, атоми на површини мете могу само вибрирати без прскања. Ако је енергија ионске бомбе висока, однос броја спуттерованих атома на број бомбардованих јона ће се смањити, јер појављује се јонизациони феномен када је енергија јона бомбардовања превисока.