Како решити проблем неравномјерности филмова у магнетном спуттерингу?

1. Обезбедити јединственост и правац магнетског поља што је више могуће да би се формирало релативно једнообразно просторно магнетно поље.

2. Осигурати униформност горњег и доњег притиска, вакум комору треба пројектовати узимајући у обзир положај уградње вакуумске пумпе, начин уношења процесног гаса и распоред процесних гасних цеви у шупљини.

3. Пошто ни магнетско поље нити притисак ваздуха нису апсолутно идеални, неједнакост притиска ваздуха може се користити за надокнађивање неуједначеног магнетног поља и прављење коначног филма уједначено.

4. Удаљеност између мета и супстрата је такође важан фактор који утиче на униформност филма.