Фактори неуједначеног танког филмског узрока Магнетроном Спуттеринг Мацхине Вацуум Цоатинг

Фактори неуједначеног филма који узрокују машином за вакуум премаз магнетона обухватају три аспеката: стање вакуума, магнетско поље и гас аргона.

Радни принцип машине за вакуум премаз магнетронског спуттера је да под вакуумским стањима електрон електромагнетног поља ради бомбардовања аргона и формира ион аргона, а затим бомбардовање циљног материјала тако да се циљни јон може одложити на површина радног комада за формирање танког филма.

Стање вакуума је потребно за контролу пумпног система, а сваки вентилатор треба истовремено активирати и конзистентно. Ако пумпа није равномерна, притисак унутар вакуумске коморе ће бити неуједначен. Притисак има одређени утицај на кретање јона. Осим тога, потребно је контролисати вријеме пумпања. Превише ће изазвати недовољан вакуум, али је предугачак и губитак ресурса.

Магнетно поље ради ортогонално, али је немогуће учинити интензитет магнетног поља 100% униформним. Где је опште магнетско поље јако, дебљина филма је велика, али је мало напротив, тако да ће изазвати недоследност дебљине филма. Међутим, у процесу производње неуједначеност филма услед неједнакости магнетног поља није честа.

Уједначеност гаса Аргона такође утиче на униформност филма, а принцип је сличан вакууму. Будући да аргон улази у вакуумску комору, притисак унутар коморе ће се променити. Јединствени притисак може контролисати јединственост дебљине филма машине за вакуум премаз магнетронског распршивања.

Већ више од једне деценије, ИКС специјализована за све врсте опреме за примену вакуумског премаза, посвећена истраживању и развоју и производњи вакуумског премаза, са најновијим технологијама стално излази у сусрет тржишним потребама опреме за вакуумско премазивање, пружајући корисницима прилагођене технолошких решења и опреме.