Difuzijska pumpa

Difuzijska pumpa

   Kao što svi znamo, difuzna pumpa za ulje je vrsta pumpe koja se često koristi u sistemu visokog vakuuma. Dakle, pitanje je, koje su to metode? Metode su sljedeće: prvo, veliki izbor utjecaja difuzionog pumpnog ulja na granični tlak difuzijske pumpe ima veliki utjecaj. Ako ne. Koristi se 3 difuzijska pumpa, krajnji tlak može dostići samo 10-5pa; Kada se koristi 275 silikonsko ulje, krajnji tlak može dostići 10-7pa, a krajnji pritisak se može povećati za 2 veličine. Drugo, parcijalni tlak pumpanog plina se također mijenja s razlikom pumpnog ulja, što je utjecaj sastava pumpnog ulja. Stoga se mora odabrati pumpa za difuziju ulja s dobrim performansama kako bi se dobio ultra visoki vakuum. Kako je ulje difuzijske pumpe toliko važno, kako da odaberemo? Zahtjevi ulja za difuzijsku pumpu su: relativna molekulska masa pumpe mora biti velika, tlak pare sobne temperature da bude nizak, termička stabilnost i oksidaciona otpornost da budu dobri, tačka smrzavanja i niskotemperaturna viskoznost da budu niske, netoksične, otpornost na koroziju, trošak nizak. Visoko-vakuumska difuzijska pumpa obično upotrebljava br. 3 difuzijsko ulje pumpe, ultra-visoko vakuum USES silikonsko ulje, zahtijeva ultra-visoki vakuumski sistem bez ugljikovodonika, difuzijska pumpa koristi fluor ulje. Drugo, upotreba razumne pumpe ulja za difuziju ulja za dobivanje ultra-visokog vakuumskog sustava treba provoditi pečenje na visokoj temperaturi, svrha je smanjiti brzinu materijala. Materijali u atmosferi mogu upiti i apsorbirati neki plin, kada se u vakuumu stvara desorpcija, plin se polako oslobađa, kako bi se ubrzala desorpcija, upotrebom pečenja.                         

Peći? Zvuči jednostavno, zar ne? Ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne, ne. Princip je što je veća temperatura bolja, može ubrzati zrak, ali i razmotriti može li materijal izdržati visoke temperature. Pecite na pravoj temperaturi. Obično metalni materijali, poput nehrđajućeg čelika, temperatura pečenja 250 ℃ - 450C; Temperatura pečenja nemetalnih materijala je 80 ℃ - 100 ℃ . Vrijeme pečenja iznad 4h - 8h. Vrijeme pečenja izuzetno visokog vakuuma je više od 24h. Performanse tipičnog sistema za difuziju metalnog ulja (nakon pečenja) i preostalih komponenti gasa u ultra-visokom vakum sistemu difuzijske pumpe za metalno ulje. Treće, dodajte uređaj hladnog hvatanja kako biste spriječili povratni tok pumpnog ulja i prebacili pumpno ulje kroz ulazni tok pumpe u fenomen ispumpane posude naziva se povratni protok. Pojava molekula ulja koje se kreću duž zida u pumpanu posudu naziva se obrnutim migracijama. I povratni tok i povratna migracija utječu na krajnji pritisak vakuumskog sustava. Hladna zamka se široko koristi u sustavu visokog vakuuma, postavlja se između ulaza crpke i vakuumske komore, ne samo da može učinkovito uhvatiti povratni protok pare difuzijske pumpe i djelomičnog razdvajanja, već također može ukloniti paru iz vakuum komora. Ultra visoki vakuum sistem sa različitim zamkama. Ultra visoki vakuum od 10-8pa-l0-10pa (ili više) može se dobiti nakon temeljitog pečenja i odmašćivanja na visokim temperaturama. Najčešće korištena zamka za hladno hlađenje je hladno hlađenje sa tekućim azotom, jer je na temperaturi tečnog azota tlak pare pumpe mnogo niži od zahtjeva za ultra visoki vakuum. Dizajn kapljica hladnog tečnog dušika mora osigurati da se molekuli koji prolaze kroz zamku susreću sa hladnom površinom, a struktura mora biti razumna. Nakon ugradnje hladnjaka s tekućim dušikom, brzina pumpe difuzijske pumpe za ulje smanjuje se ne više od 40%.

Smanjenje obrnute difuzije crpljenog plina jedan je od faktora koji ograničavaju difuzijsku pumpu za dobivanje ultra visokog vakuuma. Anti-difuzija plina povezana je s molekularnom masom. Što je manja masa, lakša je anti-difuzija. Postoje dvije metode za sprječavanje obrnute difuzije vodika u difuzijskoj pumpi: prvo smanjite tlak ispuha na izlazu difuzijske pumpe, koristeći dvije difuzijske pumpe u nizu za postizanje; Drugi je ugradnja zamke za sublimaciju titanijuma hlađenog tečnim azotom na ulaznoj cevi difuzijske pumpe za hvatanje anti-difuzionog vodonika.

IKS PVD Technology (Shenyang) Co, Ltd, proizvođač strojeva za vakuumsko premazivanje PVD-a iz Kine, glavni proizvod

sadrži: mašinu za ukrasne premaze, mašinu za premazivanje alata, mašinu za optičko prevlačenje, liniju PVD premaza. Kontaktirajte nas sada.E-mail: iks.pvd@foxmail.com