Комбиновани систем ултра високог вакуума

Комбиновани систем ултра високог вакуума

За неке вакуумске системе са посебним захтевима, као што су они који захтевају ултра-висок вакуум или ултра-висок вакуум без уља, а истовремено задовољавају потребе грубог пумпања и могу се носити са великом количином гаса који се ослобађа током процеса, комбиновани систем се може користити за испуњавање захтева. ШИПАК. 1 приказује шематски приказ вакуумског система машине за наношење ултра високог вакуума без уља. Главна пумпа је јонска пумпа за распршивање, која је опремљена пумпом за сублимацију титанијума ради побољшања степена вакуума и испуштања велике количине гаса који настаје испаравањем материјала. Крајњи вакуум може досећи 6,67 × 10-7Па. Пумпа за претходно пумпање са пумпом за молекуларно сито као главном пумпом. Осим тога, систем је опремљен и адсорпционим замком - механичким системом пумпања сирове пумпе, када је притисак већи од 1333Па, механичка пумпа није лако вратити уље, механичка пумпа директно усисава вакуумску комору, када притисак од вакуумска комора је нижа од 1333Па, механичка пумпа кроз адсорпциону замку 9 из обилазне вакуумске коморе.

1. Вакуумска комора 2. Изузетно високи вакуумски засун 3. Јонска пумпа за распршивање 4. Сублимациона пумпа од титана 5. Вакуумски вентил ултра високог вакуума6. Отпусни вентил 7.Високи вакуумски вентил 8. Пумпа за молекуларно сито 9. Адсорпциона замка 10. Механичка пумпа
ШИПАК. 1 Шематски дијаграм вакуумског система машине за премазивање ултра високог вакуума без уља

Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за премазивање алата, машина за оптичко премазивање, ПВД линија за вакуумско премазивање, пројекат „кључ у руке“ је доступан.Контактирајте нас сада, е-маил:iks.pvd@foxmail.com