Кратак увод ХИПИМС технологије

Технологија магнетске распршивања се широко примењује у пољу облога. Обично се користи за декоративне апликације за наношење премаза и за наношење алата. Али још увијек постоји много ограничења у технологији магнетронске спуттеринга. На пример, густина снаге магнетонских муниција утиче на циљано топлотно оптерећење. Под великим млазом струје, прекомерни позитивни иони бомбардирају циљ, што може довести до прегревања и гашења цилиндра, поред тога је енергија спутера ограничена, а стопа јонизације метала није висока.

Последњих година, у земљи и иностранству развијена је технологија високе импедансе магнетрон спуттеринг (ХиПИМС), која у великој мјери слаби ово ограничење. Максимална снага ХиПИМС-а је око 100 пута већа од обичне магнетронске распрскаве, а материјал за распршивање има веома високу брзину јонизовања, такође, овај високо ионизовани зрак не садржи велике честице, због чега ХиПИМС лако може добити висококвалитетни слој филма .

Пошто је време импулсног дејства у року од неколико стотина микросекунди, просечна снага ХиПИМС-а је еквивалентна просечном магнетронском спуттеру, тако да се захтев за хлађењем магнетронске мете не повећава. Иако је тренутна снага импулсног магнетронског спутера високог капацитета веома висока, његова просечна снага није превисока, тако да се може широко промовисати.