Основне компоненте опреме за премазивање алата

Савремена опрема за вакуумско премазивање (уједначена технологија грејања, технологија мерења температуре, неуравнотежена технологија магнетронске спуттеринга, помоћна анодна технологија, напајање средње фреквенције, импулсна технологија) углавном се састоји од вакуумске коморе, вакуумске пумпе, систем за унос плина, део механичког мењача, дио гријања и мерења температуре, излаз из јона или извора напајања, систем за хлађење водом и други дијелови.

1. Вацуум Цхамбер

Опрема за премазивање углавном је подијељена на производну линију континуалног премаза и машину за једнокомпонентну премазу. Захваљујући високим захтевима калупа и алата који покривају дијелове гријања и механичког мењача, као и велики број облика и величине калупа, производна линија континуалног премаза обично је тешко задовољавати захтјев и једнокомпонентни премаз се увек користи.

2. Вакуум пумпе

У технологији вакума, вакуум пумпинг систем је важан део. Због високих адхезијских захтева калупа и премаза алата, процес пресвлаке захтијева добар вакуум у позадини, па је разумни избор вакуум пумпе опреме опреме од суштинског значаја за постизање високог вакуумског степена. За сада нема пумпе која може да ради од атмосферског притиска док се не приближи ултра високом вакууму. Дакле, добар вакуум није могуће постићи једним вакуумом или методама. Неколико пумпи мора се користити у комбинацији, као што су механички пумпе, системи молекуларних пумпи и тако даље.

3. Систем мерења вакуума

Вакуумски мерни део вакуумског система се користи за мерење притиска у вакуумској комори. Као и вакуум пумпа, не постоји вакуумски мерач који може мерити цијели вакуумски опсег. Толико врста вакуумских мјерача произведених је у складу са различитим принципима и захтјевима.

4. Систем напајања

Циљно напајање углавном укључује ДЦ напајање (као што је МДКС) и напајање за међусобну фреквенцију (као што су ПЕ, ПЕИИ и ПИНАЦАЛ компаније Америцан АЕ Цомпани). Сама обрада обично мора бити испоручена са ДЦ напоном (као што је МДКС), импулсним напајањем (као што је ПИНАЦАЛ + које производи америчка компанија АЕ) или РФ напајање (РФ).

5. Процесни гасни систем

Процесни гасови, као што су аргон (Ар), хелијум (Кр), азот (Н2), ацетилен (Ц2Х2), метан (ЦХ4), водоник (Х2) и кисеоник (О2) углавном се снабдевају гасним цилиндрима. Улазе вакуум коморе кроз редукциони вентил притиска гаса, гасни вентил, цевовод, мерач протока плинова, соленоидни вентил, пиезоелектрични вентил. Предност овог типа система за унос плина је да је цевовод једноставан и чист, а лако је поправити или заменити цилиндар. Такође, свака машина за премазивање не утиче једни на друге. Осим тога, постоје и случајеви када више коатера дели групу цилиндара, што се може наћи у неким већим премазима, предност је у томе што смањује потрошњу гасних цилиндара и чини јединствено планирање и изглед. Недостатак је што се повећава могућност цурења због великог броја зглобова. Осим тога, машине за премазивање ће се међусобно мешати, а цурење ваздуха цеви машине за премазивање може утицати на квалитет производа других машина за премазивање. Поред тога, приликом замене цилиндара мора се осигурати да су сви главни рачунари у неупотребљивом стању.

6. Механички преносни систем

Наношење алата захтева да филм мора бити равномеран у дебљини. Због тога, у процесу премаза морају бити три ротације како би се испунили захтеви. То јест, док се врти велика радна столица, мала радна површина која се носи такође ротира, а сам радни предмет може се истовремено ротирати. У механичком дизајну, у средишту је дно великог погонског механизма у средишту дна великог окретног греда, окружено неким малим звезданим точковима са мрежицом, а затим користите виљушку за померање како бисте окренули обртни предмет да се окрене. Наравно, при изради калупа, обично су довољна два ротације, али капацитет преноса мора бити значајно побољшан.

7. Систем за мерење грејања и температуре

Када се облога калупа ствара, како би се обезбедило равномерно загревање радног комада много важније од процеса декоративног премаза. Опрема за облагање калупа углавном има два грејача напред и назад, а термоелемент се користи за мерење и контролу температуре. Међутим, због различитих тачака за причвршћивање термоелемента, очитавање температуре не може бити права температура радног предмета. Постоји много начина за мерење стварне температуре предмета. Ево једноставног површинског термомера. Принцип рада овог термометра је да када се термометар загреје, опруга на дну ће се загрејати како би се проширила, тако да ће показивач притиснути показивач позиционирања да се ротира до максималне температуре. Када се температура смањи, опруга се смањује и показивач се окреће у обрнутом смеру, али показивач позиционирања остаје на највишој температури. Након отварања врата, очитава се температура која показује положај показивача, односно највиша температура коју је површински термометар постигао када се загрева у вакуумској комори.

8. Ионски испаравање и спратерални извори

Извор испаравања плочица са више лука је углавном округао, познат као кружни циљ. У последњих неколико година појавио се и правоугаони вишенаменски циљ, али очигледан ефекат није примећен. Округла мета се монтира на носач циља бакра (носач катоде), а два су причвршћена заједно. Постоји магнет у држачу циља, а јачину магнетског поља се може променити померањем магнета уназад и одоздо, а такође се такође може прилагодити и брзина кретања и тачка лука. Да би се смањила температура мете и циљног држача, расхладна вода се континуирано испоручује до цилиндра. Да би се обезбедила висока електрична и топлотна проводљивост између циља и циљног држача, може се додати и лименка (Сн) између циља и држача циља. Осим тога, магнетронско наношење превлака углавном користи правоугаоне или цилиндричне циљеве.

9. Систем за хлађење воде

За пресвлаке калупа, како би се повећала брзина атомизације атома метала, сваки носач катодног циља доноси велику излазну снагу што је више могуће, што захтева адекватно хлађење. Поред тога, температура грејања многих врста алата и калупа је 400 ~ 500 ℃ . Према томе, хлађење вакуумске коморе и свака заптивна површина је такође веома важно, па се расхладна вода пожељно испоручује од чилера од око 18 до 20 ℃ . Како би се спријечили да зидови вакумске коморе ниске температуре и катодни циљеви растварају воду приликом контакта са вружим ваздухом након отварања врата, систем за хлађење водом би требао бити у стању да пређе на стање довода топле воде око 10 минута прије отварања врата. Температура топле воде је око 40 ~ 45 ℃.