Велики вакуумски масени проток

Увод Мерач масеног протока (МФЦ) састоји се од три основна уређаја: сензора протока, обилазнице протока и плоче штампане плоче, прецизно мери масе протока и смањује запремину гаса због промене температуре. МФЦ се широко примењује у области полупроводника и ИЦ ...

Представљање производа

Спецификација

Рангови протока	(20,30,50,100,200,300,300,500) СЦЦМ (0 ~ 1,2,3,5,10) СЛМ
Тачност	± 1,5% ФС
Линеарност	± 1% ФС
Поновљивост	± 0,2% ФС
Време одзива	≤4 сек
Температурни коефицијент т	Зеро: ≤ ± 0,1% ФС / ℃; Спан: ≤ ± 0,2% ФС / ℃
Мак Прессуре	3МПа
Радна температура	5 ℃ ~ 45 ℃
Заптивни материјал	Витон, Неопрен
Подешавање / излазни сигнал	0В ~ + 5В (Инпут Импеданце> 100К, Оутпут Цуррент ≤3ма)
Напајање	+ 15В 50мА -15В 50мА
Електрични прикључак	Д суб 15 пинс Фемале
Диференцијални притисак	0,01 МПа
Стопа цурења	1 × 10-8атм • цц / сец Хе (1 × 10-9 Па • м ³ / сец Хе)
Стандард Јоинт	СвагелокΦ8, СвагелокΦ6, СвагелокΦ3, Свагелок1 / 8 ", φ4 (Унутрашња) × 1 Спојница за црево, ВЦР1 / 4", Свагелок1 / 4 ", φ6 (Унутрашња) × 1 Спојница за црева
Медији	Сви гасови
Еми	ЦЕ
Тежина	0.92кг

Увод

Мерач масеног протока (МФЦ) састоји се од три основна уређаја: сензора протока, обилазнице струје и сплиттерске плоче, прецизно мери масе протока и смањује запремину гаса због промјене температуре. МФЦ се широко примењује у областима производње полупроводника и ИЦ, специјалних материјала науке, хемијске индустрије, бензинске индустрије, фармацеутске индустрије, заштите животне средине, истраживања вакуумског система итд.

Карактеристике

◆ Висока прецизност, дуг радни век, одлична поновљивост

◆ Брзи одговор, лаган почетак, добра поузданост

◆ Опсег широког опсега рада (добар рад у високом тлаку или вакуумској ситуацији)

◆ Једноставан и практичан рад

◆ Може се инсталирати где год је то потребно и повезано са рачунаром за реализацију аутоматске контроле.

Типична примена

Типичне примене МФЦ-а укључују микроелектронску процесну опрему као што су дифузија, оксидација, епитаксија, ЦВД, плазма, пљускање, пљускање, имплантација јона и друго поље као што су опрема за вакуумско одлагање, таљење оптичких влакана, опрема за микро-реакцију, мешање и одговарајући гасни систем , систем контроле капиларног протока, гасни хроматограф и други аналитички инструменти.

Димензије инсталације