Принцип и карактеристике магнетног распршивања

Принцип и карактеристике магнетронског распршивања

Технологија магнетронског распршивања развијена је на основу технологије биполарног распршивања. Успостављањем магнетног поља које је ортогонално електричном пољу на површини мете за распршивање, електрони се убрзавају електричним пољем и везују Лоренцовом силом магнетног поља, тако да се њихова путања кретања мења од првобитне праве у циклоидни. Проширењем путање електрона, вероватноћа судара између електрона и молекула гаса може се повећати, тако да је брзина јонизације гаса знатно побољшана, а затим ће се повећати високоенергетски јони који бомбардују мету, а брзина прскања мете такође ће се повећати. Услед сталног судара електрона са молекулима гаса у процесу кретања, енергија електрона је у великој мери смањена после вишеструких судара, а концентрација електрона близу површине матрице далеко од магнетног поља је ниска, па је ниска температура електрона. пораст изазван падањем електрона у матрицу није очигледан. Ово је главни разлог зашто технологија магнетронског распршивања може постићи таложење танких филмова „ниском температуром“ и „великом брзином“.

Компанија ИКС ПВД, машина за декоративно премазивање, машина за премазивање алата, машина за ДЛЦ премазивање, машина за оптичко премазивање, ПВД вакуумска линија за премазивање, доступан је пројекат „кључ у руке“. Контактирајте нас сада, Е-пошта: iks.pvd@foxmail.com